

青岛芯笙微纳电子科技有限公司,是一家以高端气体流量计/控制器(MFC)、薄膜真空计(Vacuum Gauges)、压力控制器(EPC)等半导体核心零部件的研发、生产和销售为主营业务的公司。公司现有发明专利21项,实用新型专利13项,国家一级计量证书、CE认证、TUV EMC认证、防爆认证等各类证书30余份,从核心芯片到模组、算法构建了全链条技术能力。核心研发成员来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院、山东大学、中科院、复旦大学等科研机构以及国内知名仪器仪表企业,全力打造国内一流研发团队。公司通过自主创新、产学研合作及成果转化、行业整合等手段,实现快速发展并助力国家半导体产业的发展。
公司获评国家高新技术企业、青岛市“专精特新”企业,承建有青岛市先进传感器重点实验室、青岛市先进气体流量测控技术工程中心、青岛市专家工作站等研发机构,并承担多项科技部重点研发计划、山东省重大创新工程、青岛市重点项目等国家及省部级技术攻关课题。
公司现有千级和万级洁净厂房3000余平米,在青岛、深圳两地设有制造基地和研发中心,全面保障产品的高质量、快速出货能力,并提供专业的售前售后服务。
资质荣誉
到目前为止,公司拥有21项发明专利, 13 项实用新型专利,多项EMC、CE等产品国际认证,以及数十份国家计量院计量证书。

制造平台
制造平台具有80余台传感器自动化生产设备和可靠性测试设备以及9000平米千级无尘封测车间,具备ISO9001,ISO14001,IATF16949等品质管理和制造认证。


标校能力
在标定和校准环节 ,拥有活塞标准流量装置 (精度0.3%) 、 音速喷嘴标准流量装置(精度0.13%)、美国福禄克 Molbox流量设备 (精度0.125%)等多台高端设备,确保产品精度。

产品推荐
S500气体质量流量控制器
S500系列产品采用公司自主研发的工业级先进流量传感器芯片,结合低压损气路结构以及高速数字处理电路以及温度补偿算法,可以实现最小0.1sccm、最大20slm流量范围内的气体流量快速控制。每台产品均经过严格温度补偿,在0-50℃内误差均小于1%。该产品可选配触摸显示屏、独立供电端口,完美适配半导体、真空镀膜、实验室、光伏、分析仪、实验室等各类应用环境。


50系列气体质量流量计是一款高性能、紧凑型、高性价比产品。该产品采用最新一代的工业级气体流量检测芯片,结合高速数字处理电路以及温度补偿算法,可实现最小0.1sccm、最大800slm流量范围内的高 精 度 气 体 流 量 检 测 。同 时,该 设 备 可 提 供 有 线(RS485/4-20mA)和无线(Wifi/4G/蓝牙)多种通讯方式,并配备专业的用气管理软件,方便客户进行批量安装和配置,可满足实验室用气计量、漏气报警等需求,也可以在工业中替代浮子、转子、皮膜等传统机械式流量计。


UT系列气体质量流量控制器
紧凑型气体质量流量控制器
UT系列产品采用公司全新的集成化设计理念,在保持高精度和高稳定性的同时,其尺寸和重量分别压缩到目前常规产品的1/6和1/5,适合高端分析仪器。该产品采用最新一代的工业级气体流量检测芯片、高端电磁比例阀、航空铝合金气路底座,结合高速数字处理电路以及温度补偿算法,可实现最小0.1sccm、最大20slm流量范围内的气体流量快速控制。每台产品均经过严格温度补偿,在0-50℃内误差均小于1%S.P.。该产品可用于质谱仪、光谱仪、气相色谱仪、配气仪等高端仪器设备。

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