S500系列产品采用公司自主研发的工业级先进流量传感器芯片，结合低压损气路结构以及高速数字处理电路以及温度补偿算法，可以实现最小0.1sccm、最大20slm流量范围内的气体流量快速控制。每台产品均经过严格温度补偿，在0-50℃内误差均小于1%。该产品可选配触摸显示屏、独立供电端口，完美适配半导体、真空镀膜、实验室、光伏、分析仪、实验室等各类应用环境。