紧凑型气体质量流量控制器

UT系列产品采用公司全新的集成化设计理念，在保持高精度和高稳定性的同时，其尺寸和重量分别压缩到目前常规产品的1/6和1/5，适合高端分析仪器。该产品采用最新一代的工业级气体流量检测芯片、高端电磁比例阀、航空铝合金气路底座，结合高速数字处理电路以及温度补偿算法，可实现最小0.1sccm、最大20slm流量范围内的气体流量快速控制。每台产品均经过严格温度补偿，在0-50℃内误差均小于1%S.P.。该产品可用于质谱仪、光谱仪、气相色谱仪、配气仪等高端仪器设备。