爱发科商贸（上海）有限公司自成立后，先后在北京、深圳、大连、苏州、成都、合肥、西安、鄂尔多斯、武汉、厦门、重庆和广州开设了分公司和服务中心，今后还将根据客户工厂投资情况不断优化爱发科在全国的客户服务据点分布，持续为客户提供完善的售后服务保障。应用于电子半导体、FPD、新能源、真空系统配套设备以及先端材料等各个不同领域，是最专业的真空薄膜综合解决方案提供商。
产品推荐
GaN射频器件（GaN RF Device）
针对GaN射频器件的整套解决方案
溅射·刻蚀·去胶·蒸镀·离子注入·PECVD的整套解决方案
特别是面向GaN的器件，低损伤刻蚀技术是ULVAC的重要关键技术
丰富的研发·生产·服务，符合顾客量产要求的实绩
针对顾客多种需求所建立的研发·生产·服务体制
针对客户需求提出有效方案，在中国有大量销售实绩
同时在推进新技术开发，新材料开发，具备完整的DEMO体制
一次性蒸镀卷绕设备
属性：
一次镀膜，双面，高速
优势：
1.单次完成正反面1um镀膜；
2.更低的方阻
3.高速的生产速率；
4.稳定的量产性能
ULVAC 设备系列/ 锂电池技术路线
ULVAC卷对卷设备开发历史
ULVAC自20世纪60年代以来开始生产卷对卷设备，随着时间的推移设备应用于各种领域，从一般工业材料部件到显示器部件，现在又到电动汽车部件。
ULVAC低温泵 CRYO-U系列
特点
拥有直径4-30英寸的10种以上标准机型的低温泵，还可根据客户需要生产以下用途的高性能低温泵。
• 适用于节能…多台低温泵的多极运转系统
• 适用于溅射装置…高排气容量型低温泵
• 适用于减少使用空间…L型低温泵
• 适用于超高真空…烘烤型低温泵
• 适用于实验装置、分析机器…防振型低温泵
• 适用于腐蚀气体排气…防腐蚀型低温泵
• 适用于专门排水气…超级冷阱
此外，还可提供能节省再生时间的带式加热器，抗噪音能力强的低温温度计及自动再生系统等选购配件。低温泵运用在客户重要生产线上，为能为客户随时提供及时、优秀的维修服务，本公司在日本全国设有30个以上服务据点，在韩国、中国、亚洲、 北美、欧洲也设立了服务据点。
HELIOT 900系列排气速度快，使用简便，是所有检漏仪器中较好的选择。
特长
·高速排气性能：在超微漏模式下He的排气速度达到5L/s
·采用与本体独立的平板触模式显示器：搭载无线控制系统
·可进行直观操作：高精度的识别性及简易的测试画面
·支持多种真空泵：油旋片泵，涡旋型干泵
·904系列装有方便使用、操作简单的移动台车，901系列也可以选购推车
·优异的维护保养性：保守面板可以进行简单拆卸，名部件的保养也十分简便，搭载作业使用说明书画面
·真空法除了可检出氦气，还可检测出氢气
用途
·管道、部品等各类部品的检漏
·真空装置气密性检查
·汽车部品、空调部品、热交换器部品的产品检查
·食品、医药品等包装的密闭性检查
·氦气和氢气的流量及透过量的测量
XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)，又称ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，是利用X射线入射样品表面，探测样品表面出射的光电子，来获得表面组成及化学态信息的一种表面分析方法。XPS可对元素成分进行定性定量分析，同时通过微聚焦扫描技术可以实现微米级空间分辨能力，因此广泛应用于科学研究和高科技产业等须域，包括材料科学、能源科学、半导体器件、微电子器件以及表面处理和表面异常检测等。
全自动多功能扫描聚焦X射线光纯子能错
特点
·易操作式多功能选配附件
·全自动样品传送停放
·高性能大面积和微区XPS分析
·快速精准深度剖析
·为电池、半导体、有机器件以及其他各领域提供全面解决方案
飞行时间二次离子质谱仪TOF-SIMS
TOF-SlMS(Time of Flight Secondary lon Mass Spectrometry)是利用脉冲离子束轰击样品表面产生二次离子，经飞行时间分析器分析二次离子到达探测器的时间，从而获得样品表面成份信息的分析技术。其表面灵感度高，提供表面几个原子层的分子、元素及其同位素的组成信息，运用于所有元素和同位素，包括氢元素。
PHI nanoTOF 3
全新外观、紧凑设计、更强性能
特点
·180度的广接收角，可收集超过100um大景深样品成像。
·立体收集焦距大和深景深
·同时实现高空间及高质量分辨模式
(High spatial resolution and mass resolution).
·多种离子枪选配，实现高精度深度剖析和3D成像。
·FIB-TOF三维深度分布成像。
·全球首创唯一在TOF-SIMS上架设的MSMS质谱串联技术。
俄歇电子能谱仪Auger
AES (Auger Electron Spectroscopy)是利用电子束电离激发原子内层电子，探测退激发过程出射的俄歇电子，获得样品表面的组成及化学性质的分析方法。AES不仅表面灵敏，而目具有纳米级的空间分辨率，因此广泛应用于半导体器件、微电子器件和材料科学等研究。
PHI 710
扫描俄歇电子能谱仪
特点
·使用CMA同轴分析器，实现360度高灵敏度和高传输率分析，即使在低电流情况下(高空间分辨率)，都可轻松进行分析。
·以20kV加速电压和1nA电流进行俄歇分折，AES空间分辨率可达8nm，
·在何有所有CMA的优点同时，结合获得美国真空协会AVS设计奖的高能量分辨率功能，AES可以进行各种纳米级区域的化学态分析。
动态二次离子质谱仪D-SIMS
ADEPT-1010专为浅层半导体注入和绝缘薄膜的自动分析而设计，是大多数半导体开发和支持实验室的常用工具，通过优化的二次离子收集光学系统和超高真空设计，提供了薄膜结构检测中的掺杂组分和常见杂质所需的灵敏度。
PHI ADEPT-1010
自动化深度分析工具
特点
·高灵敏度二次离子检测光学系统
·悬浮电位离子枪适于浅注入层分析
·对大气污染物组分具有低检出限。
·绝缘体深度分析。
·高精度自动样品台。
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