XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy)，又称ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)，是利用X射线入射样品表面，探测样品表面出射的光电子，来获得表面组成及化学态信息的一种表面分析方法。XPS可对元素成分进行定性定量分析，同时通过微聚焦扫描技术可以实现微米级空间分辨能力，因此广泛应用于科学研究和高科技产业等须域，包括材料科学、能源科学、半导体器件、微电子器件以及表面处理和表面异常检测等。

全自动多功能扫描聚焦X射线光纯子能错

特点

·易操作式多功能选配附件

·全自动样品传送停放

·高性能大面积和微区XPS分析

·快速精准深度剖析

·为电池、半导体、有机器件以及其他各领域提供全面解决方案