TOF-SlMS(Time of Flight Secondary lon Mass Spectrometry)是利用脉冲离子束轰击样品表面产生二次离子，经飞行时间分析器分析二次离子到达探测器的时间，从而获得样品表面成份信息的分析技术。其表面灵感度高，提供表面几个原子层的分子、元素及其同位素的组成信息，运用于所有元素和同位素，包括氢元素。

PHI nanoTOF 3

全新外观、紧凑设计、更强性能

特点

·180度的广接收角，可收集超过100um大景深样品成像。

·立体收集焦距大和深景深

·同时实现高空间及高质量分辨模式

(High spatial resolution and mass resolution).

·多种离子枪选配，实现高精度深度剖析和3D成像。

·FIB-TOF三维深度分布成像。

·全球首创唯一在TOF-SIMS上架设的MSMS质谱串联技术。