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DM直流磁控溅射电源
艺术品信息

应用场景:

工具及金属镀膜;汽车及装饰镀膜;金属手机外壳镀膜;太阳能电池;半导体制造;光学镀膜。

主要特点:

  • 采用高频逆变方式及先进的IGBT功率模块,电源效率≥90%;

  • 高效率与高沉积速率,对电网干扰小;

  • 膜层质量优异,膜层致密、附着力强;

  • 输出稳定,精度高,强大的抑弧功能,响应时间<500ns。


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