高均匀性,高利用率的磁棒:进口品牌技术,本地化制造与生产。
筛选工序严格,进口设备检测,磁棒均匀性≤1%。
靶材利用率高达80%,用户处实测最佳85%。最大限度地减少了双靶溅射对角[cross-corner effect]效应,有效避免靶材端部刻蚀严重的问题,并在基片上产生更宽的“均匀区”。
旋转阴极
高均匀性,高利用率的磁棒:进口品牌技术,本地化制造与生产。
筛选工序严格,进口设备检测,磁棒均匀性≤1%。
靶材利用率高达80%,用户处实测最佳85%。最大限度地减少了双靶溅射对角[cross-corner effect]效应,有效避免靶材端部刻蚀严重的问题,并在基片上产生更宽的“均匀区”。