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德国HSG CCP离子源

艺术品信息

适合大尺寸离子束刻蚀和溅射。
无需石英罩。
无需配备中和器。
离子能量最高可达2000 eV。
离子电流最大可达3 mA/cm2。
QUATRON-L最长可以做到4000 mm。

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