ADEPT-1010专为浅层半导体注入和绝缘薄膜的自动分析而设计，是大多数半导体开发和支持实验室的常用工具，通过优化的二次离子收集光学系统和超高真空设计，提供了薄膜结构检测中的掺杂组分和常见杂质所需的灵敏度。

PHI ADEPT-1010

自动化深度分析工具

特点

·高灵敏度二次离子检测光学系统

·悬浮电位离子枪适于浅注入层分析

·对大气污染物组分具有低检出限。

·绝缘体深度分析。

·高精度自动样品台。