AES (Auger Electron Spectroscopy)是利用电子束电离激发原子内层电子，探测退激发过程出射的俄歇电子，获得样品表面的组成及化学性质的分析方法。AES不仅表面灵敏，而目具有纳米级的空间分辨率，因此广泛应用于半导体器件、微电子器件和材料科学等研究。

PHI 710

扫描俄歇电子能谱仪

特点

·使用CMA同轴分析器，实现360度高灵敏度和高传输率分析，即使在低电流情况下(高空间分辨率)，都可轻松进行分析。

·以20kV加速电压和1nA电流进行俄歇分折，AES空间分辨率可达8nm，

·在何有所有CMA的优点同时，结合获得美国真空协会AVS设计奖的高能量分辨率功能，AES可以进行各种纳米级区域的化学态分析。