溅射·刻蚀·去胶·蒸镀·离子注入·PECVD的整套解决方案特别是面向GaN的器件，低损伤刻蚀技术是ULVAC的重要关键技术丰富的研发·生产·服务，符合顾客量产要求的实绩针对顾客多种需求所建立的研发·生产·服务体制针对客户需求提出有效方案，在中国有大量销售实绩同时在推进新技术开发，新材料开发，具备完整的DEMO体制
