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平台型刻蚀设备uGmni-200E
艺术品信息
uGmni-200E是在同一平台上配备满足各种不同工艺需求腔体的刻蚀设备,通过尽可能采用相同的通用部件来减少备件,并提高这些不同腔体之间相同操作面板的可用性。这进一步提高了先进电子产品制造过程的效率。
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