DFMS系列直流磁控溅射电源适用于金属膜（如：金、银、钛、铝、镍等）具有均匀优质的膜层质量。此电源用于磁控溅射的单阴极系统、双阴极系统。高功率的输出提高了生产效率。

主要适用于：太阳能电池芯片、建筑玻璃膜层等。

输入参数：

供电电压：

3×200V±10%

3×380V±10%

供电频率：

50Hz/60Hz

输出参数：

输出功率：

10KW~200KW

输出频率：

DC

输出电压：

800V~1200V

输出电流：

20A~500A

稳流精度：

1%

冷却方式：

水冷+风冷

灭弧时间：

3ms~100ms

工作模式：

恒流、恒功率