MFMS-I系列中频电源适用于孪生靶磁控溅射，有宽泛的输出频率（20KHz~120KHz）和输出功率（20Kw~50Kw）,前沿的电弧管理技术和极低的残余电弧能量。

此电源在装饰镀、连续镀有成熟的应用（ITO膜、太阳能电池制作、平板显示器、介质膜等）。适用于多种工艺和应用，能沉积超薄的均质的薄膜。

输入参数：

供电电压：

3×200V±10%

3×380V±10%

供电频率：

50Hz/60Hz

输出参数：

输出功率：

10KW~150KW

输出频率：

20KHz~120KHz

输出电压：

500V~3000V

输出电流：

20A~70A

稳流精度：

1%

冷却方式：

水冷+风冷

灭弧时间：

3ms~100ms

工作模式：

恒流、恒功率