离子源电源系列可分为直流离子源电源和脉冲离子源电源，可以产生均匀、单一能量的离子束。适用于真空镀膜前的清洗和辅助沉积。

输入参数：

供电电压：

3×200V±10%

3×380V±10%

供电频率：

50Hz/60Hz

输出参数：

输出功率：

10KW

输出频率：

DC或40KHz

输出电压：

1000V~2000V

稳流精度：1%

冷却方式：

水冷+风冷

灭弧时间：

3ms~100ms

工作模式：

恒流、恒功率